超薄壁タンタルキャピラリーの製造プロセスは、まず金属材料タンタルを選定します。重要なプロセスは、焼鈍処理、延伸処理、および専用延伸装置の使用です。本発明の有益な効果は、上記の加工技術によっていくつかの重要な技術を突破し、厚さ0.03mm未満の超薄壁タンタルキャピラリーを製造できることです。
重要なプロセスは以下のとおりです。
1. 焼鈍処理の要件：外径と肉厚に応じて、焼鈍温度は800～1200度に制御し、保持時間は5～15分とします。有効焼鈍温度域内の温度差は10度を超えないようにします。アニール処理時の真空度は10-4以上とし、真空中で自然冷却する。
2. 延伸工程の要件：肉厚0.1mm未満のキャピラリーを製造する場合、単発伸長率は10%を超えず、1サイクルあたりの累計伸長率は20%を超えてはならない。
3. 専用の延伸装置を選択し、振動のないスクリュー式油圧式パイプエクステンダーを採用することで、延伸工程中の破損の問題を軽減する。
本発明の有益な効果は、上記の加工処理を施すことで、厚さ0.03mm未満の超薄肉タンタルキャピラリーを製造できることである。
