ホスホン酸化合物としては、エチレンジアミンIV（メチレンホスホン酸）、ジエチレントリアミンV（メチレンホスホン酸）、トリエチレンテトラミンVI（メチレンホスホン酸）、プロパンジアミンIV（メチレンホスホン酸）、テトラエチレンペンタミンV（メチレンホスホン酸）、ヘキサメチレンテトラミンVIII（メチレンホスホン酸）、ビス（ヘキサメチレントリアミンV）（メチレンホスホン酸）、および1-ヒドロキシエチレン-1.1-ジホスホン酸が挙げられる。さらに、これらの化合物中に存在するホスホニルメチル基の一部は、水素原子またはメチル基などの他の基に置換されていてもよい。これらのホスホン酸系化合物のホスホン酸基は、アンモニウム塩等の塩のような遊離酸であってもよい。特に好ましいのは、ジエチレントリアミン五水和物（メチレンホスホン酸）、エンジアミンテトラミン（メチレンホスホン酸）、および1-ヒドロキシエチレンホル-1,1-ジホスホン酸である。ホスホン酸系化合物は過酸化水素の安定剤として作用する。エッチング液中の濃度は0.001～0.1重量％であり、好ましくは0.005～0.02重量％である。0.001重量％未満では過酸化水素の安定剤としての効果が不十分であり、0.1重量％を超えるとスズまたはスズ合金がエッチングされるため好ましくない。
アンモニアを混合する目的は、エッチング液のpHを調整することである。本発明のエッチング液のpHは7～9が好ましい。したがって、アンモニアの添加量は、過酸化水素、リン酸、ホスホン酸系化合物を含む水溶液のpHを7～9に調整することである。pHが7未満の場合、チタンおよびチタン合金のエッチング速度が不十分となる。また、pHが9を超えると、過酸化水素の分解が促進され、銅やアルミニウムがエッチングされてしまう。したがって、好ましくない。
エッチング液は、例えば、過酸化水素、リン酸、ホスホン酸系化合物を水に加え、撹拌して水溶液を得た後、アンモニア水を加えてpHを7～9に調整することにより調製することができる。
本発明のエッチング方法は、エッチング対象物をエッチング液に接触させることにより行われる。接触方法は特に制限されず、含浸処理、スプレー処理などにより行うことができる。好ましい処理温度は30～60℃である。処理温度が高いほどチタン及びチタン合金のエッチング速度は向上するが、60℃を超えると過酸化水素の分解が促進されるため好ましくない。また、エッチング処理時間は、エッチング対象物の表面状態や形状に応じて最適な時間を選択することができる。実用的には、1～10分が好ましい。
